研磨头的高度方向位置的调节方法及工件的研磨方法

摘要

本发明是一种研磨头的高度方向位置的调节方法，该方法具有：在使未保持有工件的研磨头定位到与砂布不接触的高度方向的位置之后使研磨头和定盘中至少一方旋转的工序；通过高度调节机构边使研磨头靠近砂布直至接触边通过转矩测定机构测定已旋转的研磨头与定盘中至少一方的负荷转矩电流并将该所测定的负荷转矩电流的变化量超过了规定的阈值的时刻的研磨头的高度方向的位置作为基准位置而设定的工序；以及基于距所设定的基准位置的距离将研磨头的高度方向的位置调节到规定位置的工序。由此提供一种能够稳定而高精度地调节研磨头的高度方向的位置的研磨头的高度方向位置的调节方法，能够提高所研磨的工件的平面度并能够抑制工件之间的平面度的偏差。

主权项

一种研磨头的高度方向位置的调节方法，该研磨头的高度方向位置的调节方法用于研磨装置，该研磨装置具备：粘贴于定盘上的砂布；用于向该砂布供给研磨剂的研磨剂供给机构；以环形导向环保持工件的侧面并且保持所述工件的背面的研磨头；测定该研磨头和所述定盘中至少一方的负荷转矩电流的转矩测定机构；以及使所述研磨头在高度方向上下移动而调节所述导向环与所述砂布之间的距离的高度调节机构，所述研磨装置对所述砂布按压保持于通过所述高度调节机构调节到规定位置的所述研磨头的所述工件而进行研磨，所述研磨头的高度方向位置的调节方法其特征在于，具有：在使未保持有所述工件的所述研磨头定位到与所述砂布不接触的高度方向的位置之后，使所述研磨头和所述定盘中至少一方旋转的工序；通过所述高度调节机构边使所述研磨头靠近所述砂布直至接触边通过所述转矩测定机构测定所述已旋转的研磨头与所述定盘中至少一方的负荷转矩电流，并将该所测定的负荷转矩电流的变化量超过了规定的阈值的时刻的所述研磨头的高度方向的位置作为基准位置而设定的工序；以及基于距所述所设定的基准位置的距离将所述研磨头的高度方向的位置调节到规定位置的工序。