一种MOCVD自动化控制系统

摘要

本发明公开了一种MOCVD自动化控制系统，包括执行模块和控制模块，该执行模块包括分别用于控制反应室内温度、压力、气体流量的温度控制模块、压力控制模块、流量控制模块，该控制模块可通过PID算法控制执行模块，该控制模块的扫描单元实时扫描所述执行模块，并自动记录扫描得到的执行信息到内置信息记录单元，同时传送执行信息至与控制模块连接的人机界面模块。本发明自动化程度高，可以自动检查和模拟MOCVD工艺，实现对MOCVD工艺的调整和优化，并且无需生长经验也可操作使用，同时能够大幅减轻工艺人员的工作量，还可以大大节省工艺搜索带来的能源，原材料及人力的巨大浪费。

主权项

一种MOCVD自动化控制系统，其特征在于，它包括：执行模块，包括分别用于控制反应室内温度、压力和气体流量的温度控制模块、压力控制模块和流量控制模块，至少用以控制所述执行模块的控制模块，包括扫描单元和信息记录单元，以及，与控制模块连接的人机界面模块，其中，所述扫描单元至少实时扫描所述执行模块内的温度控制模块、压力控制模块和流量控制模块，并自动记录扫描得到的执行信息至所述信息记录单元，同时传送执行信息至所述人机界面模块。