择优取向可调谐的掺铝氧化锌薄膜制备方法

摘要

一种择优取向可调谐的掺铝氧化锌薄膜制备方法，包含以下步骤：将石英基底加热至一定温度；在一定的工作气体、工作气压以及真空度下，靶材进行一定时间的预溅射，得到预溅射靶材；将预溅射靶材通过直流磁控在以一定速率自转的石英基底上溅射一段时间以沉积并得到薄膜；将薄膜冷却至室温，得到掺铝氧化锌薄膜，一定时间为8-10分钟，一定速率为3-6转/分，一段时间为5-25分钟。本发明的制备方法实现了制备AZO薄膜时的a轴和c轴不同择优取向可控制的调谐或转换，且本制备方法还可以在同一基底上通过一定的遮蔽处理在不同区域制备不同生长取向的AZO薄膜，开发其潜在的应用价值。最终得到的AZO薄膜具有优异的性能，尤其在压电效应等领域有着潜在的应用价值。

主权项

一种制备a轴择优取向、c轴择优取向可调谐的掺铝氧化锌薄膜的择优取向可调谐的掺铝氧化锌薄膜制备方法，其特征在于，包含以下步骤：将石英基底加热至一定温度；在一定的工作气体、工作气压以及真空度下，将靶材进行一定时间的预溅射，得到预溅射靶材；将所述预溅射靶材通过直流磁控在以一定速率自转的所述石英基底上溅射一段时间以沉积并得到薄膜；以及将所述薄膜冷却至室温，得到所述掺铝氧化锌薄膜，其中，所述一定时间为8‑10分钟，所述一定速率为3‑6转/分，所述一段时间为5‑25分钟。