薄膜型探针单元及其制造方法和使用其测试对象的方法

摘要

本发明提供了通过在驱动IC的、按微小间距形成的、向其施加不同信号的导线之间形成充足裕量来精确地向测试设备的电极施加信号的薄膜型探针单元及其制造方法和测试测试对象的方法。该薄膜型探针单元包括各导线中的任意一条做成与电极无电接触的虚设线。

主权项

一种用于通过接触驱动IC中形成的导线以利用测试对象的电极驱动所述测试对象来测试测试对象的薄膜型探针单元，所述薄膜型探针单元包括：所述导线中任意一条做成与电极无电接触的虚设导线，所述虚设导线包括向其施加相同信号的导线中的任意一条。