太赫兹频扫H面扇形喇叭天线及其在体硅MEMS工艺下的制备方法

摘要

本发明涉及一种太赫兹频扫H面扇形喇叭天线及其在体硅MEMS工艺下的制备方法，适用于太赫兹波段通信及探测等应用。本发明的太赫兹频扫H面扇形喇叭天线采用了多个具有有益效果的结构：喇叭天线的侧壁展开方式选取了弯曲渐开，使得天线的等相位面能够发生变化，产生波束偏转；渐开的曲线选取了两条平滑过渡的对数曲线，使得天线馈电部分与辐射结构能有良好的阻抗匹配；两条对数曲线选取的底数不同，在使得口面不断扩大的同时，优化了天线波束随频率变化的效果，得到对应不同频率不同的波束指向。

主权项

一种太赫兹频扫H面扇形喇叭天线，其特征在于：天线的辐射结构是由H面扇形喇叭天线演化得到；整体形状为向一侧弯曲的渐开喇叭；由馈电波导口至辐射口采取渐变扩展的结构；扩展方向平行于天线的H面；渐变曲线采取两条底数不同的对数曲线；馈电方式为矩形波导馈电。