| 发明名称 | 正型感光性硅氧烷组合物 | ||
| 摘要 | 一种正型感光性硅氧烷组合物，其含有：将由通式(1)R<sup>1</sup><sub>n</sub>Si(OR<sup>2</sup>)<sub>4-n</sub>表示的硅烷化合物进行水解和缩合而获得的(A)预烘烤后的膜可溶于5重量%TMAH水溶液并且其溶解速度为<img file="DDA0000413490040000011.GIF" wi="200" he="63" />秒以下的聚硅氧烷、(B)预烘烤后的膜对2.38重量%TMAH水溶液的溶解速度为<img file="DDA0000413490040000012.GIF" wi="208" he="64" />秒以上的聚硅氧烷、(C)预烘烤后的膜对2.38重量%TMAH水溶液的溶解速度为<img file="DDA0000413490040000013.GIF" wi="164" he="56" />秒以上<img file="DDA0000413490040000014.GIF" wi="207" he="62" />秒以下的聚硅氧烷这三种聚硅氧烷中的各至少一种；重氮基萘醌衍生物；以及溶剂。(式中，R<sup>1</sup>表示任意的亚甲基可被氧取代的碳原子数1～20的直链状、支链状或环状烷基，或者碳原子数6～20并且任意的氢可被氟取代的芳基，n为0或者1，R<sup>2</sup>表示碳原子数1～5的烷基)。 | ||
| 申请公布号 | CN103534646A | 申请公布日期 | 2014.01.22 |
| 申请号 | CN201280023185.7 | 申请日期 | 2012.05.15 |
| 申请人 | AZ电子材料IP（日本）株式会社 | 发明人 | 横山大志;福家崇司;田代裕治;关藤高志;野中敏章 |
| 分类号 | G03F7/023(2006.01)I;C08G77/04(2006.01)I;G03F7/075(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/023(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 1.一种正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，其为含有(I)聚硅氧烷、(II)重氮基萘醌衍生物以及(III)溶剂的正型感光性硅氧烷组合物，所述聚硅氧烷(I)包含下述聚硅氧烷(Ia)中的至少一种、下述聚硅氧烷(Ib)中的至少一种以及下述聚硅氧烷(Ic)中的至少一种，(A)聚硅氧烷(Ia)在酸性催化剂或者碱性催化剂的存在下将由通式(1)表示的硅烷化合物进行水解并缩合而获得的聚硅氧烷，该聚硅氧烷的预烘烤后的膜可溶于5重量%四甲基氢氧化铵水溶液，并且其溶解速度为<img file="FDA0000413490010000011.GIF" wi="195" he="60" />秒以下，[化学式1]R<sup>1</sup><sub>n</sub>Si(OR<sup>2</sup>)<sub>4-n</sub>式中，R<sup>1</sup>表示任意的亚甲基可被氧取代的碳原子数1～20的直链状、支链状或环状烷基，或者碳原子数6～20并且任意的氢可被氟取代的芳基，n为0或者1，R<sup>2</sup>表示碳原子数1～5的烷基，(B)聚硅氧烷(Ib)在酸性催化剂或者碱性催化剂的存在下将上述通式(1)的硅烷化合物进行水解并缩合而获得的聚硅氧烷，该聚硅氧烷的预烘烤后的膜对2.38重量%四甲基氢氧化铵水溶液的溶解速度为<img file="FDA0000413490010000012.GIF" wi="209" he="60" />秒以上，(C)聚硅氧烷(Ic)在酸性催化剂或者碱性催化剂的存在下将上述通式(1)的硅烷化合物进行水解并缩合而获得的聚硅氧烷，该聚硅氧烷的预烘烤后的膜对2.38重量%四甲基氢氧化铵水溶液的溶解速度为<img file="FDA0000413490010000013.GIF" wi="159" he="55" />秒以上、<img file="FDA0000413490010000021.GIF" wi="212" he="67" />秒以下。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||