靶材组件的焊接方法

摘要

本发明提供一种靶材组件的焊接方法，包括：提供钨靶材、背板和铝中间层；将所述钨靶材、铝中间层、背板置于真空包套内并使所述铝中间层位于所述钨靶材与背板之间，将所述真空包套置于焊接设备内；利用热等静压工艺将所述钨靶材、铝中间层、背板焊接在一起以形成靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述靶材组件。通过在钨靶材与背板之间增设铝中间层并利用热等静压工艺将钨靶材与背板焊接在一起，焊接效率提高，形成的靶材组件的焊接结合率好、焊接强度高、变形量小而且能够实现大面积焊接，因此能够满足长期稳定生产和使用靶材的需要。

主权项

一种靶材组件的焊接方法，其特征在于，包括以下步骤：提供钨靶材、背板和铝中间层；将所述钨靶材、铝中间层、背板置于真空包套内并使所述铝中间层位于所述钨靶材与背板之间，将所述真空包套置于焊接设备内；利用热等静压工艺将所述钨靶材、铝中间层、背板焊接在一起以形成靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述靶材组件。