使用超临界流体辅助之电化学沉积制程系统

摘要

本发明系有关于使用超临界流体与电化学溶液混合后，在非超临界相态下进行电化学反应之处理制程。藉由电化学溶液于反应槽外进行过滤循环时，抽取全部或部分溶液进入超临界流体之混合槽进行混合，混合后之流体在控制回到电化学反应应之温度、压力环境下，与原有的电化学反应槽内之溶液再度混合，调和反应槽内之电化学溶液特性，持续进行电化学处理反应，以达到改善电化学处理制程之功效。