可位移调整磁控管的装置

摘要

一种可位移调整磁控管的装置，包含一基座单元、至少一固设在该基座单元一侧的靶材单元、一安装在该基座单元另一侧的直线驱动单元、一受该直线驱动单元驱动的转接单元、至少一安装在该转接单元的调整单元及至少一连结于该调整单元的磁铁单元。该直线驱动单元可连动该转接单元、该调整单元及该磁铁单元沿一第一方向相对于该靶材单元位移，且操作该调整单元可连动该磁铁单元沿一第二方向调整与该靶材单元的距离。