发明名称 光学感测元件之改良方法
摘要 本发明系有关于一种光学感测元件之改良方法,包括下列步骤:提供一光学感测元件;酸处理该光学感测元件表面;形成一金属薄膜于经过酸处理之该光学感测元件表面;以及电浆改质该光学感测元件之该金属薄膜。由上述可知,本发明先以酸处理的简易方式,清洁光学感测元件表面且同时改善其表面亲水性,使得后续的金属薄膜更为平坦且对于光学感测元件的附着度提高,让光学感测元件表面先行具有良好的亲水性后,再结合使用电浆改质,更加改善光学感测元件的光学特性。
申请公布号 TWI424156 申请公布日期 2014.01.21
申请号 TW098130876 申请日期 2009.09.14
申请人 福华电子股份有限公司 台北市中山区中山北路3段22号 发明人 曹育嘉;赵敏孜;蔡五湖;张舒婷;叶筱玲
分类号 G01N21/65;H01L31/0232 主分类号 G01N21/65
代理机构 代理人 吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼
主权项
地址 台北市中山区中山北路3段22号