超声波探头、超声波成像设备及其制造方法

摘要

本发明提供一种超声波探头、超声波成像设备及其制造方法。超声波探头包含：后部块，具有预定厚度；柔性印刷电路板，堆叠于后部块上以围绕后部块的顶面和侧面，且上面形成有布线图案；压电晶圆，堆叠于柔性印刷电路板的顶面上，且具有分别形成于两侧上的上部和下部电极以及形成有多个第二孔；接地电极板，其堆叠于压电晶圆的顶面上，结合到上部电极且连接到柔性印刷电路板的接地层；声匹配层，其堆叠于接地电极板的顶面上；声透镜，其结合在声匹配层上；以及多个狭槽，其在垂直于第二孔的方向上形成，且从声匹配层中延伸到后部块的顶部。