太阳能电池的制造方法

摘要

一种太阳能电池的制造方法。提供一第一型基底，其具有一第一表面与一第二表面。使用一第一掺质对第一型基底的第一表面进行一第一掺杂制程，以形成一第二型淡掺杂层。使用一第二掺质对部分第二型淡掺杂层进行一第二掺杂制程，以形成一第二型重掺杂区，其中第二掺质的原子量大于第一掺质的原子量，第一掺杂制程的温度高于第二掺杂制程的温度。于第二型重掺杂区上形成一第一电极。于第一型基底的第二表面上形成一第二电极。