| 摘要 |
本发明「晶圆压膜机乾膜输送机构」系包括一基座、一出料装置及一乾膜平整装置，该基座上方系有一供乾膜延展以利进行切割作业之作业平台及展膜滚筒，该出料装置系包括有做为将乾膜输出至作业平台，以利展膜滚筒将乾膜做延展呈现，该乾膜平整装置系得以对乾膜进行夹持、拉撑，以利出料装置进行卷动换料时得以同步随乾膜做位移以保持乾膜平整度；藉此，得于乾膜进行切割后，对乾膜施以夹持、拉撑等动作，并同步随出料装置于换料过程中与乾膜同步移动，藉以使乾膜未切割区段换料至作业平台时仍得保持其平坦态样，以提升后续切膜作业之良率。 |
