微影装置及元件制造方法

摘要

本发明提供一种判定一编码器类型位置量测系统之一栅格板中之一缺陷之方法，该方法包括：提供一编码器类型位置量测系统以量测一可移动物件相对于另一物件之一位置，该编码器类型位置量测系统包括一栅格板及一编码器头；量测在两个或两个以上侦测器中之每一者上反射之光之量；使用在该两个或两个以上侦测器上该经反射光之一组合光强度来判定表示在量测部位处该栅格板之反射率的一反射率信号；及基于该栅格板之该反射率信号来判定在该量测部位处一缺陷之存在。