蚀刻方法、微结构之制作方法及蚀刻装置

摘要

本发明在一实施例中揭示一种蚀刻方法。该方法可包括藉由电解硫酸溶液产生氧化物质，并藉由控制所产生氧化物质的产生量来产生具有指定氧化物种浓度的蚀刻溶液。该方法可包括将所产生之蚀刻溶液供应至工件表面。