| 摘要 |
本发明系提供一种可缩短烤板部之温度变更所需时间之温度变更系统。;本发明之高速温度变更(RTC)系统具备烤板部205，该烤板部205具备：热扩散部222、连结于热扩散部222之加热器基台226、及连结于加热器基台226之加热器层224。又，高速温度变更系统包含配置于靠近烤板部205之被动冷却机构。被动冷却机构可移动成与加热器层224物理性接触。被动冷却机构具备冷却板240、及连结于冷却板240之热垫210。再者，高速温度变更系统具备配置于靠近被动冷却机构之主动冷却机构。被动冷却机构可移动成与主动冷却机构物理性接触。 |
