具有视窗加热结构的基材处理设备

摘要

在此揭露具有视窗加热结构的基材处理设备。设备经配置成使加热空气供应至视窗上，而以排放加热空气至视窗上的方式加热视窗。故本发明可防止腔室内的副产物沉积于视窗，进而加强设备的可靠度。