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发明名称
具有铜电极之TFT电晶体
摘要
本发明系关于一种TFT结构,藉此将氧化半导体与基于Cu合金之电极材料组合使用。
申请公布号
TWI424570
申请公布日期
2014.01.21
申请号
TW099125525
申请日期
2010.07.30
申请人
贺利氏材料技术公司 德国
发明人
史奈德 贝兹 莎宾;屈洛特 马丁
分类号
H01L29/786;H01L29/45
主分类号
H01L29/786
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
德国
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