发明名称 具有铜电极之TFT电晶体
摘要 本发明系关于一种TFT结构,藉此将氧化半导体与基于Cu合金之电极材料组合使用。
申请公布号 TWI424570 申请公布日期 2014.01.21
申请号 TW099125525 申请日期 2010.07.30
申请人 贺利氏材料技术公司 德国 发明人 史奈德 贝兹 莎宾;屈洛特 马丁
分类号 H01L29/786;H01L29/45 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 德国