发明名称 半导体接合保护用玻璃组成物、半导体装置的制造方法及半导体装置
摘要 至少含有SiO2、Al2O3、ZnO、CaO、3mol%~10mol%的B2O3、且实质上不含有Pb、P、As、Sb、Li、Na、K的半导体接合保护用玻璃组成物。SiO2的含有量在32mol%~48mol%的范围内,Al2O3的含有量在9mol%~13mol%的范围内,ZnO的含有量在18mol%~28mol%的范围内,CaO的含有量在15mol%~23mol%的范围内,B2O3的含有量在3mol%~10mol%的范围内。通过本发明的半导体接合保护用玻璃组成物,可以使用不含铅的玻璃材料,制造与以往使用“以矽酸铅为主要成分的玻璃”时同样的高耐压的半导体装置。
申请公布号 TWI424472 申请公布日期 2014.01.21
申请号 TW101118618 申请日期 2012.05.25
申请人 新电元工业股份有限公司 日本 发明人 小笠原淳;伊藤一彦;伊东浩二
分类号 H01L21/04;H01L27/04;H01L29/68 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人 黄志扬 台北市中山区长安东路1段23号10楼之1
主权项
地址 日本