利用干涉仪作为高速可变衰减器

摘要

一种系统及方法提供高速可变衰减器。该等衰减器可用于一微影装置内以控制用以在一初始辐射脉冲之后校正辐射之剂量之一或多个校正脉冲中的辐射强度。