| 摘要 |
本发明目的在于提供一种流量控制装置、其检验方法及流量控制方法，其能够在半导体制造装置等工作期间实施流经流路的工艺气体的流量控制检验处理。其在控制流量，使流经流路(4)的流量达到流量设定值时，收集由工艺气体流量检测值、压力检测值及输出至流量控制阀机构(7)的阀门驱动控制资讯构成的检验抽样资讯的特定数，使之与该流量设定值相关并加以存储。然后，对于作为检验抽样资讯存储的特定数的流量检测值和阀门驱动控制资讯，依次求出表示该相关的相关系数(A)，若该相关系数(A)超过了预先设定的范围，则求出基于新输入的流量检测值求得的阀门驱动控制资讯同参照预先为检验处理用而登录的阀门特性资讯表(K1)所求得的作为基准的阀门驱动控制资讯之间的差异量，以该差异量作为检验资讯。 |
