半导体元件的钝化层结构及其形成方法

摘要

本发明一实施例提供一种半导体元件的钝化层结构，用于设置于一半导体基板上，包括：一钝化层结构，设置于该半导体基板上，其中该钝化层结构包括一卤素掺杂之氧化铝层。