数位Ｘ光探测面板及其制作方法

摘要

一种数位X光探测面板，其包括一光波长转换层以及一光电探测器阵列基板。光波长转换层用于将X光转换为可见光。光电探测器阵列基板设置于光波长转换层之下方，其包括一基板与设置于基板且呈阵列排列之多个光电探测单元。每一光电探测单元包括一薄膜电晶体以及与薄膜电晶体电性连接之一光二极体。薄膜电晶体包括一氧化物半导体层。此数位X光探测面板可避免于薄膜电晶体产生光电流，从而提高X光探测效果。本发明还涉及一种数位X光探测面板之制作方法。