成膜装置及成膜方法

摘要

所揭示的成膜装置，系具备：处理容器，其系于内部维持减压空间；基板保持部，其系由以碳为主成分的材料所构成，在处理容器内保持基板；线圈，其系配置于处理容器的外侧，感应加热基板保持部；及隔热材，其系配置成覆盖基板保持部，隔离处理容器。;上述减压空间系分离成：供给成膜气体的成膜气体供给空间、及被区划于基板保持部与处理容器之间的隔热空间，且，对隔热空间供给冷却媒体。