| 摘要 |
本发明提供一种适合作为光阻组成物用之酸产生剂之下述通式(b1－1)所表示之新颖化合物及其制造方法，适合作为该化合物前驱物之化合物及其制造方法，酸产生剂、光阻组成物及光阻图型之形成方法。;〔化1〕;…(b1－1);〔式中、R1为可具有取代基之芳基或烷基，R3为氢原子或烷基，n1为0或1，n1为1时，R1及R3可相互键结，与该R1键结之碳原子及R3键结之碳原子同时形成3~7员环构造之环，A为，与该A键结之硫原子同时形成3~7员环构造之环的2价之基，前述环可具有取代基。R2为可具有取代基之芳香族基、可具有取代基之碳数1~10之直链状或支链状之烷基，或为可具有取代基之碳数2~10之直链状或支链状之烯基，n为0或1，Y1为可被氟取代之碳数1~4之伸烷基〕。 |
