形成一物质层的装置

摘要

本发明提供一种用于形成物质层之装置，包含室、分隔部件、支撑部件、反应气体提供部件以及绝缘部件。此室具有用以装载基板之内部空间。分隔部件设置于此室之内部空间中，以将内部空间分隔成用于容纳基板之反应区与非反应区。支撑部件置于反应区中，用以支撑基板。反应气体提供部件放置于支撑部件上，用以向反应区提供反应气体。此绝缘部件可卸下地与分隔部件相结合，以使反应区与非反应区相互隔离。如此，可抑止支撑部件中之加热器透过分隔部件经非反应区损失热量。