| 摘要 |
提供一种光酸产生剂及其制造方法，以及包含光酸产生剂的光阻组合物。光酸产生剂为由下式1表示之化合物：;[式1];其中在式1中，Y表示由经芳基取代之烷基，及芳族烃基所构成的族群中选出之任一者；Q1及Q2各自独立地表示卤素原子；X表示由下列基团所构成的族群中选出之任一者：烷二基、烯二基、NR'、S、O、CO以及其组合；R'表示由氢原子及烷基所构成的族群中选出之任一者；n表示0至5之整数；且A+表示有机相对离子。;光酸产生剂可在曝光时产生酸，所述酸具有低扩散率、短扩散距离，且展现适当酸度以使线宽粗糙度(LWR)特征可得以改良。 |
