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发明名称
WERKWIJZE EN INRICHTING VOOR HET VERWARMEN VAN EEN SUBSTRAAT IN EEN AXIAAL SYMMETRISCHE EPITAXIALE NEERSLAGINRICHTING.
摘要
申请公布号
NL8602358(A)
申请公布日期
1987.05.04
申请号
NL19860002358
申请日期
1986.09.17
申请人
EPSILON LP
发明人
分类号
C23C16/46;C30B25/10;H01L21/20;(IPC1-7):C23C16/46;C23C16/52
主分类号
C23C16/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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