摘要 |
Болометрический детектор, состоящий из мембраны площади S с термочувствительным элементом (ТЧЭ) и поглотителем электромагнитной энергии (ПЭЭ), прикрепленной к твердой подложке с помощью токопроводящих шинок, отличающийся тем, что с целью увеличения быстродействия регистрации ИК-излучения в интервале длин волн Δλ на основной длине волны λ при заданной величине D* функции (ТЧЭ) и (ПЭЭ) объединены в одном элементе, который выполнен в виде 2N периодических решеток, ориентированных взаимно перпендикулярно друг к другу и состоящих из n тонкопленочных монокристальных полосок каждая, изготовленных из BiSb(0<x<12) и представляющих собой n фазированных антенн с периодом L=λ/2, а физические и геометрические параметры болометра удовлетворяют экспериментально полученным соотношениям: Δλ≤(λ/n+λR/2Z), τ<20a×b/χ, R/2Z<0,5, где Z=120π Ом - импеданс свободного пространства, χ - температуропроводность среды, непосредственно контактирующей с мембраной (в данном случае воздух), а - ширина, b - длина полосок. |