| 摘要 |
<p>On crée un environnement contrôlé de gaz ou du type gazeux contre une surface d'une pièce pour y exécuter des procédés exigeant un environnement gazeux. L'atmosphère de gaz est maintenue au niveau de la région de la surface par un flux de gaz continu sur ladite région et une partie de la région circonvoisine de la surface de la tranche recouverte par une enceinte suspendue sur la surface sur un film formé par le flux de gaz, et ainsi la tranche, tout en étant dans un environnement ambiant, est introduite pour être traitée sur la région sélectionnée de sa surface et est retirée après traitement sans qu'il soit nécessaire de plonger la totalité de la tranche dans l'atmosphère gazeuse, les problèmes d'ouverture et de fermeture de prises de gaz statiques étant également évités. La pression, la température et la composition de l'atmosphère de gaz produite contre la surface sélectionnée traitée de la tranche sont régulées afin de répondre aux exigences de chaque étape de traitement et/ou d'entraîner des particules tandis que le joint gazeux est maintenu.</p> |
