发明名称 DISPOSITIF DE TEST ELECTRIQUE D'INTERCONNEXIONS D'UN DISPOSITIF MICROELECTRONIQUE
摘要 <p>La présente demande prévoit un dispositif de test électrique simultané d'éléments d'interconnexion (107) TSV traversant un substrat (100) et comportant une extrémité connectée à un circuit de test intégré et une autre extrémité à des moyens de connexion amovibles (115).</p>
申请公布号 FR2993396(A1) 申请公布日期 2014.01.17
申请号 FR20120056689 申请日期 2012.07.11
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 BEN JAMAA HAYKEL
分类号 H01L21/768;G01R31/00;H01L23/544 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址