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发明名称
摘要
申请公布号	JPH01129824(U)	申请公布日期	1989.09.04
申请号	JP19880024596U	申请日期	1988.02.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/304;H01L21/301;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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