Waferjustiersystem mit optischer Kohärenz-Tomographie

摘要

Es wird ein System zum Durchführen einer Justierung von zwei Wafern offenbart. Das System weist ein optisches Kohärenz-Tomographie-System und ein Waferjustiersystem auf. Das Waferjustiersystem ist so konfiguriert und angeordnet, dass es die relative Position eines ersten Wafers und eines zweiten Wafers steuert. Das optische Kohärenz-Tomographie-System ist so konfiguriert und angeordnet, dass es Koordinatendaten für eine Vielzahl von Justiermarkierungen auf dem ersten Wafer und auf dem zweiten Wafer berechnet und jene Koordinatendaten zu dem Waferjustiersystem sendet.