发明名称 Mehrpol und Ladungsteilchen-Strahlvorrichtung mit demselben
摘要 <p>Um einen Mehrpol zu realisieren, der sich leicht mit hoher Genauigkeit zusammenbauen lässt, wird ein Mehrpol mit einer Montagegenauigkeit von plus/minus 10 Mikrometern und mehreren Winkelsekunden erhalten, indem durch Nuten auf der Innenseite eines zylindrischen Gehäuses geführte Mehrpol-Elemente befestigt werden, um den Mehrpol zu bilden.</p>
申请公布号 DE112012000586(T5) 申请公布日期 2014.01.16
申请号 DE20121100586T 申请日期 2012.02.29
申请人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORP. 发明人 KAWASAKI, TAKESHI;URANO, KOTOKO;MORIYA, NOBORU;NAKANO, TOMONORI
分类号 H01J37/153 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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