发明名称 |
Mehrpol und Ladungsteilchen-Strahlvorrichtung mit demselben |
摘要 |
<p>Um einen Mehrpol zu realisieren, der sich leicht mit hoher Genauigkeit zusammenbauen lässt, wird ein Mehrpol mit einer Montagegenauigkeit von plus/minus 10 Mikrometern und mehreren Winkelsekunden erhalten, indem durch Nuten auf der Innenseite eines zylindrischen Gehäuses geführte Mehrpol-Elemente befestigt werden, um den Mehrpol zu bilden.</p> |
申请公布号 |
DE112012000586(T5) |
申请公布日期 |
2014.01.16 |
申请号 |
DE20121100586T |
申请日期 |
2012.02.29 |
申请人 |
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORP. |
发明人 |
KAWASAKI, TAKESHI;URANO, KOTOKO;MORIYA, NOBORU;NAKANO, TOMONORI |
分类号 |
H01J37/153 |
主分类号 |
H01J37/153 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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