发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02183553(A) 申请公布日期 1990.07.18
申请号 JP19890003333 申请日期 1989.01.10
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 HATAISHI OSAMU
分类号 H01L21/764;H01L21/76 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人
主权项
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