用于真空加工系统中的基板放置的方法和设备

摘要

本发明涉及用于使基板相对于基板固持器对准的方法和设备。基板在第一方向上移动到相对于基板固持器的某一位置。使基板固持器移动以便经由可以与第一方向垂直的第二方向上的旋转移动和平移移动中的一个或更多个移动与基板对准，使得基板和基板固持器对准。一旦对准，则基板按期望的位置或设置安置在基板固持器上。

主权项

一种装置，包括：真空加工腔室；可移动基板固持器，其安装在所述真空腔室内，所述可移动基板固持器具有选自如下自由度的至少一个移动自由度：相对基板移动进入和离开所述真空加工腔室的方向平移的平移自由度、或者旋转自由度；基板输送系统，其耦接到所述真空加工腔室，并且被配置成将基板传送到所述真空加工腔室中并且将所述基板安置在所述可移动基板固持器上；基板升举系统，其设置成使所述基板在所述基板输送系统和所述可移动基板固持器的基板支承表面之间竖直平移；以及基板固持器移位单元，其耦接到所述可移动基板固持器，并且被配置成可移动地调整所述可移动基板固持器并且校正所述可移动基板固持器和所述基板之间的未对准。