一种与转塔型测试装置结合的半导体元件传送系统

摘要

本发明公开了一种与转塔型测试装置结合的半导体元件传送系统，用于测试半导体元件的完整性和功能性，其中该传送系统提供至少两个可装载为了进行视觉检测、测试和/或包装的半导体元件的输入送料器，该传送系统还提供用于测定的无缺陷半导体元件的多种输出方式，例如管式、编带式、盒式或者该管式、编带式及盒式的组合方式。

主权项

一种与转塔型测试装置结合的半导体元件传送系统，用于测试半导体元件的完整性和功能性，其特征在于，包括：至少两个输入送料器，可装载为了进行视觉检测、测试和/或包装的半导体元件；数个间隔分开的、有序排列的模块工位，所述数个模块工位用于每一输入送料器，所述模块通过所选中的模块工位而提供，其位于安装在所述测试装置基板上的定位器上，所述模块包括：一接收模块，用于接收从所述输入送料器依次馈送入的半导体元件；一旋转或万向模块，能够调整放置于其上半导体元件的方向；至少一测试模块，用以对通过其上的拾取头放置的半导体元件进行完整性和/或功能性测试和/或参数测试；至少一无缺陷半导体元件用输出模块、及至少一不合格半导体元件用输出模块；以及数个拾取头，耦合成所述测试装置的可旋转转塔的外围，其中，每一拾取头在正上方垂直对齐于每个模块工位，随着该转塔每次前进一模块工位其与所有其他拾取头也同时前进至下一模块工位，且其还可上下垂直移动以放置、压按和/或拾取来自各个模块的半导体元件，所述拾取头通过在所述接收模块中拾取一半导体元件而开始序列测试。