光电探测器及其制造方法

摘要

本发明公开了光电探测器及其制造方法。该光电探测器包括衬底和形成在衬底中的绝缘装置。绝缘装置电绝缘衬底的约束区。约束区被构造成响应辐照而生成自由电荷载流子。该光电探测器还包括被构造成提供光电流的读出电极装置，所述光电流由响应辐照而生成的自由电荷载流子的至少一部分形成。该光电探测器还包括通过绝缘装置与约束区电绝缘的偏置电极装置。偏置电极装置被构造成对约束区内的空间电荷载流子分布产生影响，使得与未被偏置状态相比，更少的自由电荷载流子在约束区的边界处复合。

主权项

一种光电探测器，包括：衬底；绝缘装置，所述绝缘装置形成在所述衬底中并且电绝缘所述衬底的约束区，所述约束区被构造成响应辐照而生成自由电荷载流子；读出电极装置，所述读出电极装置包括与所述约束区的不同部分接触的至少两个电极并且被构造成提供光电流，所述光电流由响应所述辐照而生成的所述自由电荷载流子的至少一部分形成；以及偏置电极装置，所述偏置电极装置通过所述绝缘装置与所述约束区电绝缘，所述偏置电极装置被构造成被电偏置，这对所述约束区内的空间电荷载流子分布产生影响，使得与未被偏置状态相比，更少的所述自由电荷载流子在所述约束区的边界处复合。