多焦距光学对准装置及多片堆叠的衬底的对准方法

摘要

本发明公开了一种多焦距光学对准装置，用以对多片堆叠的衬底进行对准，各衬底分别具有一对准记号。多焦距光学对准装置包括多个影像感测单元，分别用以接收各衬底上的对准记号的一对准影像，以及一分光器用以将各对准记号的对准影像分别传送到各影像感测单元。各影像感测单元具有不同的焦距。分光器具有一入光面以及多个出光面，衬底面对分光器的入光面，各影像感测单元分别面对分光器的出光面。

主权项

一种多焦距光学对准装置，用以对多片堆叠的衬底进行对准，各该衬底分别具有一对准记号，所述多焦距光学对准装置之特征在于，包括：多个影像感测单元，分别用以接收各该衬底上的所述对准记号的一对准影像，其中各该影像感测单元具有不同的焦距；以及一分光器，用以将各该对准记号的所述对准影像分别传送到各该影像感测单元，其中所述分光器具有一入光面以及多个出光面，所述衬底面对所述分光器的所述入光面，各该影像感测单元分别面对所述分光器的所述出光面。