化学腐蚀抽拉法制备STM探针技术及其装置

摘要

化学腐蚀抽拉法制备STM探针技术及其装置。本发明涉及一种电化学制STM探针的技术。运用电化学腐蚀法及机械抽拉相结合的方法，将原来的中心带圆孔的圆片状阴极改为现在的管状阴极，使原来的液面腐蚀变为浸入碱液内的全面腐蚀，弥补了原来的电化学腐蚀法出现的切断时间不好把握、针尖易钝化弯曲等不足。该装置具有原理简单、可重复使用等优点，该技术生产出的针尖具有曲率小、对称性高的优点。

主权项

一种运用电化学腐蚀与机械抽拉相结合制备STM探针的技术。