含有多台多晶硅分解炉的生产装置及操作方法

摘要

本发明提出一种含有多台多晶硅分解炉的生产装置及操作方法。生产装置，包含2台及2台以上的多晶硅分解炉、两套自动控制系统以及若干条物料管道；各台多晶硅还原炉的进料管线分别连接在总进料管线上，且将每台多晶硅分解炉的出料管线分别作为下一台多晶硅分解炉的第二条进料管线。各台分解炉的出料管线通过自动控制系统与尾气回收管线和下一台分解炉的第二条进料管线进行切换连接；两台分解炉之间设有自动控制系统。传统的多晶硅分解炉工艺采用单炉工作，达到一定产量所需时间较长。本发明由于采用大气量的原料进气，提高了总反应速率，增加了产量。降低了多晶硅生产的能耗，提高了工艺的安全性。

主权项

一种含有多台多晶硅分解炉的生产装置，其特征是包含2台及2台以上的多晶硅分解炉、两套自动控制系统；各台多晶硅分解炉的进料管线分别连接在总进料管线上，且将每台多晶硅分解炉的出料管线分别作为下一台多晶硅分解炉的第二条进料管线；各台分解炉的出料管线通过自动控制系统与尾气回收管线和下一台分解炉的第二条进料管线进行切换连接；两台分解炉之间设有自动控制系统。