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发明名称 HEAT TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH04109622(A) 申请公布日期 1992.04.10
申请号 JP19900226631 申请日期 1990.08.30
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMADA HIROSHI
分类号 H01L21/31;H01L21/324 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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