一种高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达

摘要

本发明的目的是提供一种同时具备高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达。其基本原理是在压电陶瓷驱动器的振动和摩擦下利用惯性实现线性移动，将超声波振动能量变换成物体的平动动能。本发明所提出的双模超声波线性马达的创新之处是将高速率和高精度这两个传统上不能兼容的指标在同一设备上实现。该马达不仅能以mm/s的高速率模式运行，还能以分辨率为纳米量级的高精度模式运行。同时，该马达还能工作在极低温、超高真空、强磁场等极端条件下，具有行程大，负载高的优点。

主权项

一种同时具备高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达，其特征在于，是在压电陶瓷驱动器的振动和摩擦下利用惯性原理实现线性移动，从而将超声波振动能量变换成物体的平动动能。