改进的电容传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种用于测量湿气和湿度的电容传感器，以及一种用于制造该电容传感器的改进的工艺。用于测量湿气和湿度的具有多层电极的电容传感器的该制备工艺包括：在多层聚酰亚胺中沉积多层交叉电极；通过剥离工艺在所述电极的表面上设置多个沟槽；以及用负性光敏聚酰亚胺覆盖所述传感器。

主权项

用于测量湿气和湿度的具有多层电极的电容传感器的制备工艺，所述工艺包括：提供一衬底，该衬底包括硅片衬底层（1），在该硅片衬底层（1）的正面层敷二氧化硅层（2），在所述二氧化硅层（2）上层敷氮化硅层（3），在该硅片衬底层（1）的背面层敷铝层（4）；将第一聚酰亚胺层（5）涂覆在所述氮化硅层（3）上；在第一聚酰亚胺层（5）上沉积第一交叉电极（8）；用第二聚酰亚胺层（6）覆盖在所述第一聚酰亚胺层（5）和所述第一交叉电极（8）上；在第二聚酰亚胺层（6）上沉积第二交叉电极（9），所述第二交叉电极（9）与所述第一交叉电极（8）之间的侧壁（13）彼此垂直且不重叠；用第三聚酰亚胺层（7）覆盖在所述第二聚酰亚胺层（6）和所述第二交叉电极（9）上；通过剥离工艺在所述第二交叉电极（9）的表面上设置多个沟槽（12）；以及在所述第二交叉电极（9）的表面上设置引线结合区（10）和引线结合窗口（11）。