发明名称 |
一种用于半导体器件封装的清洗剂 |
摘要 |
本发明公开的一种用于半导体器件封装的清洗剂,由以下质量百分比原料配制而成:冰醋酸1.0%~5%,氟化氢铵0.5%~7.5%,氟铵NH4F 0.2%~7.5%,二甲基甲酰胺55%~70%,去离子水25%~35%。本发明的半导体器件封装清洗剂具有能清除大于90%的金属表面氧化层和其它沾污,使得半导体封装关键工序键合的质量大幅提高。 |
申请公布号 |
CN103509661A |
申请公布日期 |
2014.01.15 |
申请号 |
CN201210220078.5 |
申请日期 |
2012.06.29 |
申请人 |
林清华;黄金顺 |
发明人 |
林清华;黄金顺 |
分类号 |
C11D7/60(2006.01)I;C11D7/26(2006.01)I |
主分类号 |
C11D7/60(2006.01)I |
代理机构 |
上海天翔知识产权代理有限公司 31224 |
代理人 |
刘粉宝 |
主权项 |
一种用于半导体器件封装的清洗剂,由以下质量百分比原料配制而成:冰醋酸1.0%~5%,氟化氢铵0.5%~7.5%,氟铵NH4F 0.2%~7.5%,二甲基甲酰胺55%~70%,去离子水25%~35%。 |
地址 |
新加坡直落布兰雅路77号楼6楼238房 |