发明名称 一种用于半导体器件封装的清洗剂
摘要 本发明公开的一种用于半导体器件封装的清洗剂,由以下质量百分比原料配制而成:冰醋酸1.0%~5%,氟化氢铵0.5%~7.5%,氟铵NH4F 0.2%~7.5%,二甲基甲酰胺55%~70%,去离子水25%~35%。本发明的半导体器件封装清洗剂具有能清除大于90%的金属表面氧化层和其它沾污,使得半导体封装关键工序键合的质量大幅提高。
申请公布号 CN103509661A 申请公布日期 2014.01.15
申请号 CN201210220078.5 申请日期 2012.06.29
申请人 林清华;黄金顺 发明人 林清华;黄金顺
分类号 C11D7/60(2006.01)I;C11D7/26(2006.01)I 主分类号 C11D7/60(2006.01)I
代理机构 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 代理人 刘粉宝
主权项 一种用于半导体器件封装的清洗剂,由以下质量百分比原料配制而成:冰醋酸1.0%~5%,氟化氢铵0.5%~7.5%,氟铵NH4F 0.2%~7.5%,二甲基甲酰胺55%~70%,去离子水25%~35%。
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