ION IMPLANTING DEVICE,申请号JP19910039901-传众专利搜索

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发明名称	ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH04277458(A)	申请公布日期	1992.10.02
申请号	JP19910039901	申请日期	1991.03.06
申请人	SONY CORP	发明人	TAJIMA KAZUHIRO
分类号	C23C14/48;G21K5/04;H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265	主分类号	C23C14/48
代理机构		代理人
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