| 主权项 |
1.一种真空电弧离子镀膜系统之磁控装置,系由:一可抽真空之密闭式之真空室,分别设于室内上、下相对位置之基质保持装置及上面固定有靶材之磁场产生装置,设于靶材近区之电弧引发器,基质偏压装置,靶材负压装置及冷却系统所构成;其特征在于,该磁场产生装置系由:一下部形成冷却室而上部用来安置齿轮传动机构,且周壁设有冷却媒体进出口之支持筒;一套设于竖立在支持筒内中央之固定轴上可旋转自如之旋转叶轮;一设在固定轴上端之固定齿轮;一可旋转地轴支在旋转叶轮之一叶片之上面且囓合于固定齿轮,而自转之外亦可对于固定齿轮行公转之大齿轮;及一设于大齿轮上外缘呈偏心状之用以控制电弧点之磁铁组所构成;而该旋转叶轮系利用导入支持筒内之冷却媒体之推力推动设在进出水口对应位置之叶轮叶片而旋转,并经由齿轮传动机构驱使带有磁铁组之大齿轮产生自转及公转运动者。2.依据申请专利范围第1项之装置,其中该磁场产生装置尚包括一设在大齿轮下面之偏心凸起与旋转叶轮之轴毂部外壁间之偏压弹簧,用以使磁铁组由内环转到外环时,弹簧逐渐伸长而渐增作用力,使大齿轮之转速渐减;且由外环转到内环时,弹簧逐渐收缩而减少作用力,使大齿轮之转速渐增者。3.依据申请专利范围第1项之装置,其中该传动机构之齿轮组系以摩擦轮组取代者。4.依据申请专利范围第1项之装置,其中该磁铁组系设在齿轮传动机构或摩擦轮传动机构之公转轮上不行自转者。5.依据申请专利范围第1项之装置,其中该磁铁组系设在齿轮传动机构或摩擦传动机构之公转旋转轮上而能行自转 |
