发明名称 楔形键合机和清洁楔形键合机的方法
摘要 本发明公开了一种楔形键合机,该楔形键合机包含有:楔刀,其用于将导线键合至表面上以在表面间形成电气互连;清洁设备,其被操作来清洁楔刀;和定位设备,其上装配有楔刀;尤其是该定位设备被操作来移动楔刀至清洁设备以进行清洁。本发明还公开了一种清洁楔形键合机的楔刀的方法。
申请公布号 CN103515262A 申请公布日期 2014.01.15
申请号 CN201310249926.X 申请日期 2013.06.21
申请人 先进科技新加坡有限公司 发明人 郑志华;梅文杰
分类号 H01L21/607(2006.01)I 主分类号 H01L21/607(2006.01)I
代理机构 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 代理人 周春发
主权项 一种楔形键合机,该楔形键合机包含有:楔刀,其用于将导线键合至表面上以在表面间形成电气互连;清洁设备,其被操作来清洁楔刀;和定位设备,其上装配有楔刀,该定位设备被操作来移动楔刀至清洁设备以进行清洁。
地址 新加坡新加坡2义顺7道