发明名称 | 楔形键合机和清洁楔形键合机的方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种楔形键合机,该楔形键合机包含有:楔刀,其用于将导线键合至表面上以在表面间形成电气互连;清洁设备,其被操作来清洁楔刀;和定位设备,其上装配有楔刀;尤其是该定位设备被操作来移动楔刀至清洁设备以进行清洁。本发明还公开了一种清洁楔形键合机的楔刀的方法。 | ||
申请公布号 | CN103515262A | 申请公布日期 | 2014.01.15 |
申请号 | CN201310249926.X | 申请日期 | 2013.06.21 |
申请人 | 先进科技新加坡有限公司 | 发明人 | 郑志华;梅文杰 |
分类号 | H01L21/607(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/607(2006.01)I |
代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人 | 周春发 |
主权项 | 一种楔形键合机,该楔形键合机包含有:楔刀,其用于将导线键合至表面上以在表面间形成电气互连;清洁设备,其被操作来清洁楔刀;和定位设备,其上装配有楔刀,该定位设备被操作来移动楔刀至清洁设备以进行清洁。 | ||
地址 | 新加坡新加坡2义顺7道 |