| 发明名称 | 石墨舟 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种PECVD设备的技术领域，尤其是一种石墨舟。其包括舟体、石墨片、插孔、硅片放置区和陶瓷棒，舟体上设有石墨片，石墨片上设有插孔和硅片放置区，插孔内设有陶瓷棒，硅片放置区为镂空型。这种石墨舟结构简单、紧凑并且合理，装配方便快捷，连接可靠，提高了使用的安全性，镀膜沉积快，提高了生产效率，同时提高了镀膜的质量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推广。 | ||
| 申请公布号 | CN103510075A | 申请公布日期 | 2014.01.15 |
| 申请号 | CN201210217045.5 | 申请日期 | 2012.06.28 |
| 申请人 | 沈文伟 | 发明人 | 沈文伟 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人 | 沈兵 |
| 主权项 | 一种石墨舟，包括舟体（1）、石墨片（2）、插孔（3）、硅片放置区（4）和陶瓷棒（5），其特征是，舟体（1）上设有石墨片（2），石墨片（2）上设有插孔（3）和硅片放置区（4），插孔（3）内设有陶瓷棒（5）。 | ||
| 地址 | 213000 江苏省常州市武进区湟里镇西鲁村委施公庄34号 | ||