可替换齿部的齿轮结构及应用该齿轮结构的薄膜沉积系统

摘要

本发明有关于一种可替换齿部的齿轮结构及应用该齿轮结构的薄膜沉积系统，可替换齿部的齿轮结构尤指一种应用该齿轮结构的薄膜沉积装置。齿轮结构主要包括一主体部及多个齿部，其中主体部的外缘设置有多个连接座，并可将齿部的连接端耦合至主体部的连接座，以固定齿部于主体部上。本发明所述的齿轮结构可用以取代一般的齿轮，此外当齿轮结构上部分的齿部损坏时，仅需要进行损坏的齿部的更换，便可继续使用齿轮结构，以降低更换及维修齿轮结构所花费的成本。

主权项

一种可替换齿部的齿轮结构，其特征在于，包括：一主体部，包括多个连接座，其中该多个连接座位于该主体部的外缘；及多个齿部，每一该齿部包括一连接端，通过该连接端耦合至每一该连接座，每一该齿部能够固定于该主体部上。